BESCHICHTUNGEN

Specials

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Homogene Schichtdicken auf stark gekrümmten Oberflächen

Die in PVD- Prozessen abgeschiedene Schicht wächst nicht mit homogener Schichtdicke auf Substratoberflächen auf, was der Natur des Prozesses mit gerichtetem Teilchenstrahl geschuldet ist, d.h. die Schichtdicke variiert lateral. Dabei folgen die optischen und mechanischen Eigenschaften der resultierenden Beschichtung dem entstehenden Schichtdickengradienten.

Diesen Effekten kann in vielen Fällen durch gezielte Anpassung des Schicht- Designs entgegengewirkt werden, aber insbesondere auf stark gekrümmten Oberflächen können jene Effekte zu inakzeptablen Ergebnissen führen.

Zur Minimierung des Schichtdickengradienten und den damit verbundenen Performance- Effekten, können beispielsweise Substrate mit rotationssymmetrischen Oberflächenformen mittels Planetengetriebe in Eigenrotation versetzt werden.

Die Opcos AG verfügt über ein selbst entwickeltes und in seiner Anwendung sehr flexibles Planetengetriebe um eine grosse Produktevielfalt bedienen zu können. Zudem kann bereits im Vorfeld der laterale Schichtdickengradient für eine gegebene Oberfläche mittels In- House entwickelter Simulationssoftware abgeschätzt und kompensiert werden, was die Aufwände für diesbezügliche Optimierungsversuche erheblich reduziert.

Inhomogene Schichtdicken (Gradienten-Filter)

Ist eine laterale Variation der optischen Eigenschaften einer Oberfläche ausdrücklich erwünscht, kommen sogenannte Gradienten-Filter zum Einsatz, bei welchen die Funktion durch gezielte Anpassung des Schichtsystems an verschiedenen Orten der beschichteten Oberfläche eingestellt werden.

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Randlose Beschichtung

Traditionell werden Substrate für die Positionierung innerhalb der Beschichtungsanlage typischerweise in eine produktspezifische Halterung gelegt, so dass ein Teil der zu beschichtenden Oberfläche im Halter aufliegt und dadurch an diesen Orten nicht oder nur partiell beschichtet wird.

Opcos‘ innovatives Halterungskonzept kommt für viele Substrat- Geometrien, wie beispielsweise Linsen und Stablinsen >Ø2 mm, ohne Auflagepunkte aus, was eine vollflächig homogene Beschichtung der Oberflächen erlaubt. Zudem ist die Reinigung und Beschichtung von Substraten in diesen Halterungen auch bei hohen Prozesstemperaturen erprobt, wodurch sich mit diesem Halterungskonzept keine Limitationen für unser grosses Portfolio an Beschichtungen ergeben.

TCO

‘Transparent- conductive- oxide‘- Beschichtungen, also transparente, elektrisch leitende Beschichtungen werden vor allem in der Solar- und Elektronikindustrie und in der Militär- und Displaytechnologie eingesetzt. So können TCO- Beschichtungen beispielsweise dafür sorgen, dass eine Oberfläche elektrisch beheizt werden kann, vor statischer Aufladung schützt oder elektromagnetische Strahlung abgeschirmt und dabei spezifische optischen Eigenschaften besitzt.

Der elektrische Flächenwiderstand ist dabei eine Funktion der Schichtdicke und ist mit allen von Opcos verfügbaren Arten von optischen Beschichtungen kombinierbar.

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Kontrolle der Wellenfront (RWE, TWE)

Anspruchsvolle optische Systeme stellen oft hohe Anforderungen an die Erhaltung oder die gezielte Modifikation von Wellenfronten einfallender Lichtstrahlen beim Passieren von optischen Flächen, Elementen oder des Gesamtsystems.

Bei der Opcos AG fliessen jene Anforderungen an die Beschichtungen für Ihre optischen Systeme bereits bei der Auslegung mit ein.

Polarisations- und Phasenkontrolle

Trifft Licht unter grossem Einfallswinkel auf eine optische Fläche, kommt es zu Polarisationseffekten. Dabei ist es in vielen Anwendungen wichtig, in welcher Phasenbeziehung sich Lichtwellen verschiedener Polarisationsrichtungen zueinander befinden oder wie ihr Amplitudenverhältnis ist. Durch ein hohes Mass an Prozesskontrolle in den bei der Opcos AG etablierten Verfahren können solche Effekte reduziert oder auch gezielt genutzt werden.

Auch ein massgeschneiderter Verlauf der Phasenverschiebung über ein Spektralband kann realisiert werden, wie es beispielsweise beim (Rück-) Komprimieren von ultrakurzen Laserpulsen zur Anwendung kommt, um einer zeitlichen Pulsverbreiterung nach Durchlaufen eines dispersiven optischen Mediums entgegenzuwirken (dispersive Spiegel).

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